世界各國均有自定規格，但普遍依據美國聯(lián)邦政府頒布的標準【FederalStandard(FS)209E,1992】，可將無(wú)塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無(wú)塵室的等級只用塵粒數目來(lái)敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無(wú)塵室最大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無(wú)塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來(lái)表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
　　萬(wàn)級凈化車(chē)間的潔凈度：潔凈度10000級cleanlinessclass10000（P2萬(wàn)級實(shí)驗室即ISO7級）即大于等于0.5μm的塵粒數大于35000粒／m3(35粒/L)到小于等于350000粒／m3(350粒／L)；大于等于5μm的塵粒數大于300粒／m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒／m3(3粒/L)。
　　萬(wàn)級凈化車(chē)間壓差及溫濕度控制：
　　1）溫度:干盤(pán)管系統控制。
　　2）濕度:空調箱調節通過(guò)感測的信號,控制三通閥開(kāi)度來(lái)調節空調箱盤(pán)管進(jìn)水量。
　　3）正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動(dòng)調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進(jìn)入室內的新風(fēng)量。
　　萬(wàn)級凈化車(chē)間檢測標準：
　　氣流速度及其均勻度檢測，是無(wú)塵室效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流無(wú)塵室工作區的平均氣流通度及其均勻性。
　　1）室內潔凈度的檢測：潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。
　　2）自?xún)魰r(shí)間的檢測：通過(guò)確定自?xún)魰r(shí)間，查明潔凈室內部發(fā)生污染時(shí)恢復其原有潔凈度的能力。
　　3）照度的檢測：照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
　　4）振動(dòng)的檢測：振動(dòng)檢測的目的是為了判明無(wú)塵室各表明的振動(dòng)幅度。
　　5）溫、濕度的檢測：溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無(wú)塵室的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點(diǎn)的空氣溫度，檢測無(wú)塵室中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風(fēng)溫度。